Дисертація присвячена теоретичному узагальненню і новому розв‘язанню наукової задачі з вдосконалення технології та обладнання для комбінованого електронно-променевого оброблення (поєднання резистивного методу осадження тонких покриттів і електронно-променевого оброблення в одному технологічному циклі) оптичних елементів шляхом застосування автоматизованої системи гнучкого керування режимами оброблення, удосконалення математичних моделей, існуючого та розроблення нового методичного, програмно-апаратного, технічного забезпечення, що дозволяє зменшити мікрошорсткісті поверхні осадженої на неї металевої плівки, підвищити їх механічну міцність, а також визначити діапазон робочих параметрів комбінованої електронно-променевої обробки, що забезпечують її високу якість та ефективність.

Постачальник даних: УкрІНТЕІ (Український Інститут науково-технічної експертизи та Інформації)

  Завантажити автореферат