| Бондаренко Максим Олексійович Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки: автореф. дис. ... д. т. н. : 05.11.13 - Прилади і методи контролю та визначення складу речовин / М. О. Бондаренко ; Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". — 2019 — укp.Дисертація присвячена вирішенню важливої науково-технічної проблеми удосконалення існуючих та створення нових методів і засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю геометричних та механічних характеристик компонентів мікросистемної техніки шляхом застосування автоматизованих систем вимірювання і контролю цих характеристик з урахуванням дії дестабілізуючих факторів, розроблення математичних та експериментально-статистичних моделей, що в цілому представляє собою наукові основи керування якістю процесу контролю на основі методу атомно-силової мікроскопії та дозволяє зменшити відносну похибку на 8 – 11%, збільшити чутливість методу на 17 – 19% та відтворюваність результатів контролю у 2,1 – 2,4 рази, а також збільшити термін експлуатації зонду у 2,6 – 3,5 рази, ймовірність його безвідмовної роботи – на 5 – 10%, зменшити в 1,2 – 3,4 рази швидкість ерозії поверхні, а також визначити діапазон робочих параметрів сканування, що забезпечують стабільну роботу атомно-силового мікроскопу. Постачальник даних: УкрІНТЕІ (Український Інститут науково-технічної експертизи та Інформації) Завантажити автореферат З матеріалами дисертації можна ознайомитись в НРАТ (Національний репозитарій академічних текстів)
|