Дисертаційну роботу присвячено теоретичному дослідженню та числовому моделюванню взаємодії макрочастинок з низькотемпературною плазмою низького тиску, в якій присутні пучки електронів чи іонів. Розглянуто процеси заряджання макрочастинки у плазмі з електронним (іонним) пучком, процеси енергетичного обміну між макрочастинкою та плазмою з пучком електронів (іонів), що визначають динаміку та фазові стани макрочастинки у пучково-плазмових системах. Досліджено динаміку та фазові стани макрочастинки у плазмі вакуумно-дугового розряду за умов, що відповідають різним технологічним процесам: вакуумно-дуговому осадженню тонких плівок та плазмовій імерсійній іонній імплантації. У дисертації розкрито питання про методи очищення плазми від макрочастинок. Особливу увагу приділено альтернативним засобам зменшення забруднень макрочастинками покриттів без застосування магнітних фільтрів.

Постачальник даних: УкрІНТЕІ (Український Інститут науково-технічної експертизи та Інформації)

  Завантажити автореферат