Встановлено закономірності розмірних ефектів в електрофізичних властивостях плівкових систем з певним чергуванням нанокристалічних шарів із різною взаємною розчинністю компонентів на основі перехідних металів, зокрема V і Ni, V і Cu, Cu і Cr та Ni і Ti. Встановлено вплив температури та деформації на питомий опір, температурний коефіцієнт опору, коефіцієнт тензочутливості та параметри електроперенесення плівкових зразків. Виявлено вплив ступеня дисперсності кристалів на параметри електроперенесення одношарових зразків і розраховано внесок в питомий опір, температуринй коефціцієнт опору та коефіцієнт тензочутливості об'ємного, поверхневого та зерномежового механізмів розсіювання електронів. Зроблено апробацію теоретичних моделей розмірного ефекту в електропровідності, температурному коефіцієнті опору та коефіцієнті тензочутливості багатошарових полікристалічних плівок. Доведено, що урахування температуриних і деформаційних ефектів у теоретичних моделях підвищує ступінь відповідності експериментальних і розрахункових значень температурного коефіцієнта опору та коефіцієнта тензочутливості, що відкриває можливість прогнозування електрофізичних властивостей плівкових систем і стабільності характеристик приладів з плівковими елементами.

  Завантажити