Встановлено закономірності формування структурно-фазового складу й електрофізичних властивостей двошарових плівок Ni/Fe та Cr/Fe. Проведено комплексне дослідження фазового складу, кристалічної структури та дифузійних процесів і встанволено, що фазовий склад шарів плівкової системи та інтерфейсного шару, який утворюється в процесі її формування, має вирішальне значення у розвитку електрофізичних властивостей зразка. Виявлено, що фазоутворення у плівковій системі Ni/Fe відбувається не в повній відповідності з діаграмою стану. Одержано рівняння дифузії для двошарової плівкової системи Ni/Fe та розраховано ефективні коефіцієнти взаємної дифузії для системи Cr/Fe у процесі зерномежової конденсаційно-стимульованої та термодифузії. Проведено порівняльне дослідження впливу конденсаційно-, іонно- (викликаної первинними іонами) та термостимульованої дифузії під час відпалу. З'ясовано, що вплив конденсаційно-стимульованої дифузії на порядок більший у порівнянні з термостимульованою в системах Ni/Fe, особливо Cr/Fe. Зроблено апробацію теоретичних моделей термічного коефіцієнта опору та коефіцієнта поздовжньої тензочутливості двошарових плівок. На підставі порівняльного дослідження експериментальних і розрахункових даних у межах теоретичних моделей для двошарових плівок, в яких зберігається індивідуальність шарів і співвідношення для сплавів, доведено існування зв'язку між величиною термічного коефіцієнта опору (ТКО) та коефцієнтів тензочутливості зі структурно-фазовим складом плівкових систем. Розраховано залежності для прогнозування ТКО двошарових плівкових систем на основі Ni, Cr та Fe.

  Завантажити