| Коваленко М.Й. Вплив опромінення на компоненти радіоелектронної апаратури і розробка методів підвищення їх радіаційної стійкості : Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / М.Й. Коваленко ; Харк. держ. техн. ун-т радіоелектрон. — Х., 1999. — 18 с. — укp.Дисертація присвячена розробці технологічних методів та технології для виробництва інтегральних схем з підвищеною радіаційною стійкістю, на основі вивчення електрофізичних процесів, які мають місце в цих схемах при опроміненні. Запропоновані методики, основані на термоелектротренуванні, зміні схемотехнічних рішень, а також на використанні еліонних технологій. Одержані результати знайшли впровадження при виконанні науково-дослідних робіт по формуванню профілів розподілу атомів віддачі в шаруватих структурах, розроблена також технологія виготовлення діафрагм субмікронних розмірів. Завантажити Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15
Рубрики:
|