Досліджено структурні й електрофізичні характеристики нанокристалічних Cr - N та V - N покриттів, а також їх радіаційну стійкість і механічну міцність. Для одержання даного типу покриттів використано технологію іонно-стимульованого осадження, яка об'єднує випаровування атомів і молекул металу та бомбардування газовими іонами, які мають енергію у декілька десятків keB. На підставі результатів математичного моделювання даного процесу доведено, що внаслідок різниці у глибинах залягання іонів та утворюваних дефектів умови, за яких зароджується та формується структура є різними. На підставі вивчення особливостей створення покриттів зроблено висновок, що структура сформованого Cr - N матеріалу є нанокристалічною з розміром зерна 3 - 6 нм з вузькими межами. Показано, що бомбардування іонами азоту таких покриттів на початковому етапі призводить до заповнення вільних зв'язків між атомами металу та азоту, внаслідок якого утворюються стехіометричні фази CrN та VN. Встановлено влив підвищення дози опромінення CrN покриття на зростання великих (100 - 200 нм) зон з різною текстурою росту, внаслідок якого електроопір зростає. Встановлено відсутність видимих змін у структурі VN композиту та підвищення електроопору. У разі опромінення іонами гелію основна його частина дифундує на межі зерен і утворює газові комплекси - He - Nv. З'ясовано, що у разі застосування максимальних доз опромінення відбувається збільшення тиску у цих комплексах і руйнування Cr - N покриттів. Показано, що V - N покриття більш стабільні. Виявлено, що за умов підвищення тиску у газових комплексах частина гелію дифундує по межі зерен до поверхні покриття та залишає його, а руйнування не відбувається. Встановлено, що використання високоенергетичних іонів в іонно-стимульованій технології суттєво активізує процес зчеплення покриттів з основою. Виявлено, що збільшення кількості пор у покритті посилює зчеплення. Показано, що інтенсивне перемішування покриття з більш м'яким матеріалом підкладки негативно позначається на твердості покриття. З'ясовано, що даний ефект призводить до зменшення твердості за умов збільшення адгезії.

  Завантажити