Одержано математичні залежності для визначення питомого тиску, необхідного для вирівнювання пластин перед шліфуванням, що дало змогу одержати критичну область залежно від товщини та початкового прогину пластини, в якій не забезпечується повне вирівнювання. Наведено метод розрахунку розподілу залишкових напруг і деформацій напівпровідникової пластини, з використанням якого здійснено математичне моделювання процесу формоутворення пластин і обгрунтовано можливість контролю їх товщини у даному процесі. Розроблено шляхи розв'язання задач сполучення операцій формоутворення пластин і контролю їх товщини. Розвинуто ємнісний метод виміру товщини пластин, що дало змогу підвищити продуктивність технологічного процесу їх формоутворення. Створено засоби та розроблено комп'ютерну модель її автоматичного операційного контролю, проведено експериментальне дослідження з метою оптимізації параметрів системи цього контролю.

  Завантажити