Дисертацію присвячено кількісному експериментальному дослідженню процесів розсіювання та дифракції когерентного та некогерентного випромінювання на об'єктах різноманітної вимірності з метою визначення їх просторового розподілу, геометричних характеристик та дефектності розсіюючих поверхонь. На базі отриманих результатів розроблені оптичні методи контролю геометричних параметрів волочильного інструменту, просторового положення квазіодновимірних об'єктів, якості фотошаблонів та рівня дефективності приповерхневого шару напівпровідникових матеріалів. Розроблений оригінальний багатоканальний фоточутливий датчик для лазерної дифрактометрії.

  Завантажити