Бази даних


Автореферати дисертацій - результати пошуку


Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"

Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=20081124030201<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
   
Бобро В.В. 
Основні шляхи досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.01 / В.В. Бобро ; Сум. держ. ун-т. — Суми, 1999. — 19 с. — укp.

Дисертація присвячена обгрунтуванню та розробці основних шляхів досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії. Розроблено способи подолання основних труднощів на шляху практичної реалізації однозонної методики еліпсометричних вимірювань та нову науковообгрунтовану метрологію в еліпсометрії, в основі якої лежить однозонна методика. Намічена схема проведення метрологічних робіт. Розроблено методи розв'язання зворотної задачі еліпсометрії. Показано, що статистичний підхід до розв'язання некоректної задачі еліпсометрії для надтонких поверхневих плівок, який пропонує нові критерії вибору оптимальної точки, приводить до сталих результатів і дозволяє успішно досліджувати поверхневі плівки товщиною від 2 до 10 нанометрів.

  Завантажити


Індекс рубрикатора НБУВ: В372.212,022


Рубрики:
 
Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
Пам`ятка користувача

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського