Вивчено способи синтезу та досліджено нові леткі комплекси Al, Ga, In з гексаметилдисилазаном та їх адукти. Вперше синтезовано 14 сполук. Наведено кількісну оцінку стеричних властивостей гексаметилдисилазану та інших лігандів, що зумовлюють ефективне екранування координаційного центру досліджених сполук. Вивчено термічну стійкість гексаметилдисилазанатів алюмінію, галію, індію та їх адуктів. Визначено температурну залежність тиску насичених парів комплексів. Розраховано термодинамічні характеристики процесу сублімації. Плазмохімічним методом одержано нітридні плівки.

  Завантажити