Наведено результати системних експериментальних і теоретичних досліджень щодо вивчення змін складу, структури й фізико-механічних властивостей плівок у системах V - B, V - B - N і Ta - B, Ta - B - N. Виявлено вплив геометрії розпилювальної системи та умов розпилення на властивості одержаних плівок. Встановлено, що за умов осадження плівок високотемпературних сполук, головним чинником, який впливає на склад і структуру плівок є умови переносу розпилених атомів мішені до поверхні конденсації. Запропоновано механізм, що дає можливість провести моделювання впливу умов транспортування речовини крізь розрядний проміжок на зміни характеристик потоків атомів, що конденсуються на підкладці. Виявлено, що за допомогою моделювання за запропонованою схемою можна здійснити підбір параметрів розпилення й осадження, які найбільш сприятимуть осадженню плівок з бажаними властивостями. Запропоновано спосіб одержання багатошарових боридних і нітридних структур перехідних металів з заданими фізико-механічними властивостями в одному технологічному циклі на базі використання однієї мішені, варіювання режимів розпилення та співвідношення товщини в шарах. З'ясовано, що даний спосіб дає можливість захистити плівки боридів ванадію від окиснення. Наведено практичні рекомендації для одержання нанокристалічних плівок досліджених сполук.

  Завантажити