З'ясовано значення максимальних деформацій, протяжність областей пружних деформацій і характер їх змін. Відтворено товщинні розподіли деформацій і порушень в кремнії, генеровані імплантацією фосфором та іншими видами обробок, є досить складними та містять різнознакові деформації. Розглянуто вплив комбінованої дії іонної імплантації фосфором та хімічного травлення на просторові розподіли інтенсивності, структурні властивості та фотолюмінесцентні характеристики кремнію у процесі природного старіння. З використанням числового розв'язку системи рівнянь Такагі досліджено механізми та закономірності формування товщинних осциляцій інтенсивності у сильно деформованих зосередженою силою кристалів кремнію. Установлено, що за певного рівня деформацій, за якого зміна ефективної розорієнтації дефекту є більшою від ширини кривої гойдання W, поширення X-променів супроводжується процесами міжсіткової взаємодії.

  Завантажити