Установлено закономірності формування структурно-концентраційних неоднорідностей та дифузійного масопереносу компонентів у тонкоплівковій системі Cr - Cu - Ni за термічної обробки імпульсно-періодичним лазерним опроміненням у широкому інтервалі значень енергії імпульсів, кількості діючих імпульсів та тривалості обробки. За такої обробки формуються неоднорідні структурно-концентраційні розподіли, термодинамічно нерівноважні, але кінетично стійкі стани. З'ясовано, що особливу роль у дифузійному масопереносі атомів міді та хрому за термічної обробки лазерним опроміненням тонкоплівкової системи Cr/Cu/Ni відіграє зовнішня поверхня шару нікеля, яка термодинамічно обумовлює направлений масоперенос в об'ємі тонкоплівкової системи і є стоковою для дифундуючих елементів - міді та хрому, за цього контролюючим фактором є утворення оксиду хрому на зовнішній поверхні шару нікелю. Відзначено, що наявність градієнтів концентрацій дифундуючих елементів протягом термічної обробки лазерним опроміненням зберігається (концентраційна однорідність в об'ємі тонкоплівкової системи не досягається). Показано значення застосування різних режимів термічної обробки лазерним опроміненням на формування структури поверхні тонкоплівкової системи Cr/Cu/Ni.

  Завантажити