Розроблено спосіб виготовлення твердих поруватих джерел бору та досліджено процеси, що відбуваються під час їх створення. Виявлено залежність параметрів твердих планарних джерел бору від ступеня диспергування компонентів, способу формування та режимів спікання. З'ясовано оптимальну геометрію даних джерел бору на термостійких підкладках. Визначено коефіцієнти лінійного термічного розширення основних матеріалів дифузантів і алюмоборосилікатних сполук залежно від температури. Здійснено дослідження напруженого стану твердих планарних джерел у процесі тривалої експлуатації. Установлено залежність дифузійних параметрів джерел від часу та температури, за якої відбувається процес легування. Визначено зміни складу дифузанту у процесі тривалої експлуатації за методами рентгено-фазового та ізотермогравіметричного аналізів. Запропоновано механізм переносу оксидів легуючих домішок від джерела до пластини кремнію, що дозволяє оцінити дифузійні параметри джерел діаметрами 300 мм і більше.

  Завантажити