| Мазунов Д.О. Фазові перетворення у плівках оксидів кремнію, зумовлені зміною структурного стану кисню : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Д.О. Мазунов ; НАН України. Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова. — К., 2005. — 17 с. — укp.Представлено результати комплексного дослідження процесів фазово-структурних перетворень у плівках оксидів кремнію та їх впливу на оптичні, механічні й електрофізичні властивості зазначених плівок. Виявлено, що в результаті даних процесів відбувається локальне виділення в матриці фаз елементарного кремнію та діоксиду кремнію. у порівнянні з оксидами, одержаними за стандартною технологією. Обгрунтовано позитивний вплив даного факту на покращення електрофізичних характеристик МДН систем з оксидами, вирощеними на кремнії, попередньо очищеному водневою плазмою. Завантажити
Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2,022 + Ж619 + Шифр НБУВ: РА337005
Рубрики:
|