Представлено результати комплексного дослідження процесів фазово-структурних перетворень у плівках оксидів кремнію та їх впливу на оптичні, механічні й електрофізичні властивості зазначених плівок. Виявлено, що в результаті даних процесів відбувається локальне виділення в матриці фаз елементарного кремнію та діоксиду кремнію. у порівнянні з оксидами, одержаними за стандартною технологією. Обгрунтовано позитивний вплив даного факту на покращення електрофізичних характеристик МДН систем з оксидами, вирощеними на кремнії, попередньо очищеному водневою плазмою.

  Завантажити