Розв'язано важливу фізико-технологічну проблему твердотільної електроніки, що дає змогу вибирати оптимальний метод одержання наношарів і структур на їх основі з необхідними характеристиками. Показано, що умови, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Одержані результати дають змогу прогнозувати характеристики плівок та наноструктур на їх основі та усвідомлено підходити до їх керування. Досліджено вплив конструкторсько-технологічних та експлуатаційних чинників на топологію наноелементів, обгрунтовано їх застосування під час виготовлення НВІС. Розв'язано проблему твердотільної інтеграції кремнієвих і арсенід галієвих технологій та створення на їх основі принципово нових приладів для реєстрації, обробки та передачі інформації.

  Завантажити