Розроблено плазмохімічну технологію одержання тонкоплівкових зносостійких матеріалів п'яти видів. Одержане з метилтрихлорсилану SiC покриття на підкладці і монокристалічного кремнію за механічними та трибологічними характеристиками не поступається спорідненим покриттям, одержаним з дорогої імпортної сировини, і збільшує абразивну зносостійкість підкладки завдяки зародженню нанокристалітів в аморфній матриці SiC. Покриття SiCN на кремнієвій підкладці, одержане з метилтрихлорсилану з додаванням азоту, забезпезпечує підвищення у п'ять разів абразивної зносостікості, спричинене збільшенням кількості Si - C зв'язків у матеріалі покриття. Оптимізовано режим осадження наноструктурованих TiN покриттів з тетрахлориду титану. За результатами випробувань металорізальних пластин з твердого сплаву Т15К6 з покриттям nc-TiNC / a-SiCN показано підвищення їх стійкості у 2 - 2,4 рази у процесі токарної обробки сталі 45 і в 1,5 - 2 рази - сталі 12Х18Н9Т.

  Завантажити