| Головко Ю.В. Зв'язок розподілу домішок в монокристалах кремнію з технологічними параметрами вирощування : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.02.01 / Ю.В. Головко ; Луц. нац. техн. ун-т. — Луцьк, 2009. — 19 с. — укp.Розроблено математичні моделі розподілу домішок у монокристалах кремнію, що грунтуються на рівнянні балансу маси домішки, передбачають врахування залежності розподілу домішок від технологічних факторів процесу вирощування та не використовують фізичні параметри, які не можна виміряти з умов промислового виробництва монокристалів. З застосуванням розроблених моделей за експериментальними даними оцінено величини ефективних коефіцієнтів розподілу легуючих (бору, фосфору) і фонових (вуглецю та кисню) домішок, швидкостей надходження та розплав вуглецю та кисню з конструктивних елементів робочої камери та розчинення кварцу тигля у розплаві кремнію. Досліджено залежності цих величин, а також густини та розподілу мікродефектів від концентрації домішок і технологічних параметрів процесу вирощування монокристалів кремнію за промислових умов. Завантажити Індекс рубрикатора НБУВ: В372.3,022 + В375,022 + Шифр НБУВ: РА364335
Рубрики:
|