Проаналізовано закономірності процесів дефектоутворення в шаруватих структурах (ШС) діоксид кремнію-кремній (ДКК) і метал-кремній (МК) і приладних системах на їх основі. Встановлено механізми впливу дефектів на електрофізичні характеристики, моделювання процесів струмоперенесення в даних структурах і системах. Описано властивості та топологічну модель реальної МОН-структури на основі дослідження механізму утворення пластичної деформації на межі поділу ДКК, що призводить до виникнення перехідної області кремнію. Розроблено фізичні моделі струмоперенесення в контактах МК в межах існуючих наближень і модель струмоперенесення в реальних польових МОН-системах в наближенні плавного каналу за результатами досліджень приповерхневої області кремнію (ПОК) в ШС ДКК і МК. Зазначено, що моделі струмоперенесення побудовані на основі дослідження в ПОК шарів з різною провідністю. Описано механізм формування та властивості макродефектів у вигляді дефектів шаруватої недосконалості (ДШН), дендритів і двійникових ламелей в кремнію. Встановлено, що ДШН виникає внаслідок ШС пластин кремнію у місцях скупчення структурних макродефектів. Вивчено тонку структуру, склад дендритів і двійникових ламелей, визначено температури їх дисоціації. Запропоновано механізм формування фотолюмінесценції в хімічно-модифікованій ПОК в ШС ДКК, накопичення додаткового позитивного заряду під час опромінення польових кремнієвих МОН-систем іонізуючим випромінюванням з присутністю енергетичних станів у ПОК.

  Завантажити