Вивчено вплив термічного нагрівання підкладки та низькоенергетичного іонного й електронного бомбардування поверхні осадження на процеси, що відбуваються у разі конденсації плівок. Визначено залежність фізико-механічних характеристик покриттів від їх структурного стану, складу та розміру зерна, наведено її фізичне пояснення. Виявлено спільні фізичні закономірності процесу росту наноструктурних покриттів дибориду танталу та дибориду гафнію.

  Завантажити