Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Пошуковий запит: (<.>ID=20110505015633<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
| Задорожній Р. О. Методи та моделі підвищення точності вимірювання геометричних розмірів об'єктів зондовими мікроскопами : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.01.02 / Р. О. Задорожній ; Нац. наук. центр "Ін-т метрології". — Х., 2010. — 20 с. — укp.Досліджено процес взаємодії зонда зі зразком і розроблено математичну модель рівняння вимірювання розмірів на атомно-силовому мікроскопі, в якій враховуються похибки, що виникають в процесі взаємодії зонда та зразка. Розглянуто проблему виникнення переміщення вістря зонда під час нахилу осі сканувального зондового мікроскопа, одержано математичну модель впливу знайденого ефекту на точність вимірювання. Вдосконалено метод коригування параметрів неортогональності сканера. Розвинено метод сканування, який проводить вимірювання параметрів поверхні з кутом нахилу бічних стінок виступів менше кута нахилу твірної конуса зонда. Завантажити Індекс рубрикатора НБУВ: Ж107.1 + В338.28 в641.8,022 Шифр НБУВ: РА375279 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|
|
|