Досліджено фізико-технологічні процеси виготовлення великогабаритних фотоелектричних перетворювачів (ФЕП) на базі кристалічного кремнію за умов серійного виробництва. Проведено дослідження впливу на ефективність ФЕП: параметрів вихідних кремнієвих пластин, параметрів текстурованої поверхні (показано вплив параметрів текстурованої поверхні не тільки на щільність струму короткого замикання, а й на послідовний опір ФЕП), режимів формування емітерного шару (встановлено значні відмінності від класичної теорії Фіка та залежність параметрів шарів від стану підготовки поверхні пластини), умов формування плівки АВП (для покращання стану приповерхневого шару запропоновано використання процесу обробки пластин у плазмі аміаку, який передує процесу осадження нітриду кремнію, для більш глибокого насичення кремнію атомами водню, який покращує пасивацію поверхні ФЕП).

  Завантажити