1. |
Jefimov K. Electron beam recording of multilevel diffractive optical elements in amorphous As - S - Se films / K. Jefimov, M. Honkanen, P. Laakkonen, J. Turunen, T. Jaaskelainen, J. Teteris // Functional Materials. - 1999. - 6, № 3. - С. 569-574. - Бібліогр.: 20 назв. - англ.Досліджено використання аморфних плівок As - S - Se як резистів для запису дифракційних елементів за допомогою електронного променя з застосуванням органічного лужного проявника. Виявлено, що осаджені плівки As - S - Se поводяться відносно цього проявника як негативний резист, а плівки, відпалені при 190 °C - як позитивний резист. Запропоновано тепловий механізм запису. Дифракційні гратки з різними параметрами були записані в осаджених і термооброблених плівках. Виявлено лінійну залежність глибини профілю від дози, що дозволяє створювати тримірні структури з бажаною формою профілю на основі цих резистів. Продемонстровано деякі бінарні та восьмирівневі похилі гратки. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ
|