Удосконалено наукові засади створення низьковакуумних газорозрядних електронних гармат (НГЕГ), запропоновано методики їх проектування, визначено механізми та закономірності фізичних процесів у процесі їх функціонування. Наведено рекомендації щодо застосування розроблених конструкцій гармат для вирішення наукових і технологічних задач. Теоретично обгрунтовано методи підвищення робочого тиску, експериментально підтверджено їх ефективність. Виявлено й експериментально досліджено "ефект втечі електронів" під час роботи НГЕГ. На базі НГЕГ створено автономний імпульсний електронний прискорювач для активних експериментів у верхніх шарах атмосфери. Розроблено й апробовано технології на базі НГЕГ для діагностики та нагрівання газових потоків, одержання монокристалів кремнію, модифікації поверхні виробів, одержання покриттів у середовищі реакційного газу (CPVD, CVD-технології). Результати наукового дослідження використано у процесах розробки, виготовлення й експлуатації ряду електронно-променевих експериментально-промислових установок і пристроїв різного технологічного призначення.

  Скачати повний текст