Розроблено комплексний підхід щодо фізико-технологічного моделювання пристроїв, який грунтується на декомпозиції конструкції на сукупність областей, синтезі на їх основі моделей елементів та пристроїв у цілому. Це дозволяє підвищити ефективність проектування за рахунок використання в якості структурних складових моделювання областей елементів, формалізації взаємозв'язків між ними та спрощення процедури синтезу конструктивної структури мікроелектронних пристроїв (МЕП), внаслідок наведення її відповідно до послідовного, паралельного або послідовно-паралельного з'єднання компонентів структурної схеми. Розроблено методику забезпечення технологічності МОН-структур МЕП шляхом врахування дефектності базових технологічних шарів під час вибору на етапі автоматизованого проектування конструктивно-технологічного варіанта, який гарантує необхідний відсоток виходу придатних.

  Скачати повний текст