Досліджено питання виявлення механізмів впливу електромагнітного випромінювання на ріст і властивості алмазоподібних плівок з використанням газофазних методів одержання плівок за низьких тисків та опромінення випромінюванням ультрафіолетового (УФ) та видимого діапазонів спектра. Установлено, що опромінювання поверхні зразка, який зростає, лазерним випромінюванням видимого діапазону спектра збільшує концентрацію атомарного водню у приповерхневому газофазному шарі більш, ніж у 2,5 раза внаслідок фотосенсибілізованих процесів передачі енергії та дисоціації на збудженій ростовій поверхні. Показано, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок нітриду вуглецю значною мірою знижує енергетичний бар'єр, збільшує ефективність вбудовування атомів азоту в структуру плівок і призводить до підвищення концентрації хімічно зв'язаного азоту в плівках. Одержано дані, на підставі яких установлено інтенсифікацію процесів травлення та перебудови ростової поверхні алмазоподібних плівок за умов її опромінювання.

  Скачати повний текст