Зазначено, що рух кінчика вістря вивчався за допомогою методу молекулярної динаміки, а рух усього кантилевера - за допомогою теорії катастроф. Розроблено методику комп'ютерної побудови зображень поверхонь з дефектами в атомно-силовому мікроскопі у режимах постійної сили та висоти сканування. Вивчено вплив радіуса вістря та режимів на роздільну здатність і контраст зображень. Досліджено механізми деформацій кінчика вістря, визначено критичні висоти сближення та сили сканування. Мікросистему "тримач кантилевера - кантилевер - вістря - поверхня" запропоновано розглядати як адгезійну і фрикційну машини катастроф. Детально вивчено явища "стрибків до контакту" та "прилипання - ковзання". Розраховано величини стрибків вістря та сили, виявлено причини нестійкого руху. Встановлено критерії руху без стрибків, одно- та багатократних ковзань. Для запобігання руйнування вістрь запропоновано безкатастрофні та беззносні режими сканування.

  Скачати повний текст