Проведено узагальнення динамічної теорії розсіяння рентгенівських променів для геометрій дифракції за Лауе та за Бреггом в макроскопічно деформованих кристалах з випадково розподіленими мікродефектами на випадок сильної деформації в тороїдально вигнутих кристалах. Одержано аналітичні вирази для бреггівської, квазідифузної та дифузної компонент відбивної здатності тороїдально вигнутого кристала з дефектами. Встановлено, що поява трьох стаціонарних точок замість однієї відповідає виникненню одразу трьох активних точок збудження на одній з двох дисперсійних гілок, номер якої залежить від знаку ефективного радіуса вигину. Показано, що одержаний теоретичний вираз для коефіцієнта відбиття тороїдально вигнутого та сильно деформованого кристала у випадку геометрії дифракції за Бреггом дозволяє проводити адекватну характеризацію складних дефектних структур в реальних монокристалах, які створюються різними типами мікродефектів і макроскопічними деформаціями.

  Скачати повний текст

Дисертація присвячена обгрунтуванню та розробці основних шляхів досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії. Розроблено способи подолання основних труднощів на шляху практичної реалізації однозонної методики еліпсометричних вимірювань та нову науковообгрунтовану метрологію в еліпсометрії, в основі якої лежить однозонна методика. Намічена схема проведення метрологічних робіт. Розроблено методи розв'язання зворотної задачі еліпсометрії. Показано, що статистичний підхід до розв'язання некоректної задачі еліпсометрії для надтонких поверхневих плівок, який пропонує нові критерії вибору оптимальної точки, приводить до сталих результатів і дозволяє успішно досліджувати поверхневі плівки товщиною від 2 до 10 нанометрів.

  Скачати повний текст