Дисертація присвячена обгрунтуванню та розробці основних шляхів досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії. Розроблено способи подолання основних труднощів на шляху практичної реалізації однозонної методики еліпсометричних вимірювань та нову науковообгрунтовану метрологію в еліпсометрії, в основі якої лежить однозонна методика. Намічена схема проведення метрологічних робіт. Розроблено методи розв'язання зворотної задачі еліпсометрії. Показано, що статистичний підхід до розв'язання некоректної задачі еліпсометрії для надтонких поверхневих плівок, який пропонує нові критерії вибору оптимальної точки, приводить до сталих результатів і дозволяє успішно досліджувати поверхневі плівки товщиною від 2 до 10 нанометрів.

  Скачати повний текст