Розроблено методику визначення оптимального часу зварювання у твердій фазі в електростатичному полі кремнію зі склом у процесі виготовлення напівпровідникових датчиків тиску. Встановлено вплив на швидкість формування з'єднань пікового значення густини струму зварювання, яке за незмінної напруги залежить від шорсткості контактуючих поверхонь і величини відношення номінальної площі контакту деталей до сумарного периметра бокових поверхонь трубчатої скляної деталі. З'ясовано, що показники електростатичних сил стиснення визначаються відношенням падіння зварювальної напруги на контактному опорі до величини повітряного зазору між з'єднуваними поверхнями у початковий момент прикладення зварювальної напруги. Розроблено методику визначення часу зварювання безпосередньо у даному процесі. Встановлено, що для збільшення міцності з'єднань необхідно забезпечити мінімальне значення відношення номінальної площі контакту деталей до сумарного периметра бокових поверхонь трубчатої скляної деталі. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній - скло - кремній за один цикл зварювання.

  Скачати повний текст