Долсіджено структуру й електрофізичні властивості ультратонких плівок Cu, Au та Ag. Вивчено вплив поверхневого та зерномежового розсіювання носіїв струму на перенесення заряду в плівках Cu, Au та Ag. Досліджено вплив сурфактантних підшарів Sb, Ge та Si на структуру та кінетичні коефіцієнти у тонких плівках Cu, Au та Ag. Залежності від товщини шару питомого опору p, температурного коефіцієнта опору beta у широкому діапазоні товщин (d = 2-70 нм) плівок пояснено на основі існуючих теоретичних моделей квазікласичних і квантових кінетичних явищ у зразках обмежених розмірів. Проведено розрахунок зонної структури ультратонких плівок Cu, Au та Ag. Виявлено, що для плівок досліджуваних металів товщиною більшою 5-6-атомних шарів зонна енергетична структура близька до зонної енергетичної структури масивного зразка металу. Розмірні залежності кінетичних коефіцієнтів тонких плівок досліджуваних металів пояснено за допомогою квантових теорій балістичного перенесення заряду в ультратонких плівках металів. Параметри перенесення заряду в плівках металів розраховано у межах моделей класичного та внутрішнього розмірних ефектів.

  Скачати повний текст