1. |
Єрьомін С. О. Мас-спектрометрія нейтральних частинок, розпилених іонами з енергією до 170 кеВ: автореф. дис. ... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.01 / С. О. Єрьомін ; Сум. держ. ун-т. — Суми, 2010. — 21 с. — укp.Досліджено процеси іонного розпилення твердих тіл у широкому інтервалі енергій первинних іонів методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних частинок. Із цією метою створено установку для мас-спектрометричного аналізу розпилених нейтралей, що дозволяє працювати у діапазоні енергій первинних іонів до 170 кеВ, та розроблено відповідні методики досліджень. Запропоновано методику обчислення коефіцієнта трансмісії іонно-оптичної системи монопольного мас-аналізатора з енергофільтром як функції енергії іонів. Методом комп'ютерного моделювання траєкторій електронів та іонів у системі аналізу розпилених частинок визначено оптимальні потенціали іонно-оптичних елементів системи, що забезпечують максимальну чутливість установки, для кожного із трьох режимів роботи. Проведено дослідження емісії нейтральних кластерів міді, а також процесу переважного розпилення ізотопів молібдену під час бомбардування поверхні іонами аргону в діапазоні енергій від 30 до 170 кеВ. Скачати повний текст Індекс рубрикатора НБУВ: В381.566 в641.8,022 + В381.105.5,022 Шифр НБУВ: РА377347 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|