Досліджено структуру, електронні й електролюмінесцентні властивості надтонких органічних плівок методами сканувальної тунельної мікроскопії й атомно-силової мікроскопії. Розглянуто вплив термічного розпаду нанотрубок на їх фотонну й електронну емісію. Показано, що високовпорядковані хемосорбовані моношари насичених кислот можуть бути одержані на реконструйованій поверхні Au(111). Експериментально підтверджено ефект односпрямованої провідності молекул оксифенілнафталіміду й їх ланцюгів. Запропоновано новий спосіб одержання нанозазорів за допомогою зонда атомно-силового мікроскопа.

  Скачати повний текст

Розроблено теоретичні основи та технологічні засади електрохімічного одержання тонких полікристалічних плівок напівпровідникових сполук CdS і CdTe. Досліджено нові напрямки електрохімічного синтезу тонких плівок CdS і CdTe з електролітів на основі неводневого органічного апротонного розчинника, зокрема, диметилсульфоксиду (ДМСО). Визначено оптимальні параметри електролізу та фотоелектричні показники одержаних плівок. Запропоновано новий метод електрохімічного одержання CdTe, який базується на пошаровому осадженні окремих компонентів (кадмію та телуру) сполуки з ДМСО розчинів, високу ефективність якого обгрунтовано теоретично та підтверджено практично. Відзначено, що синтезовані таким способом, плівки CdTe мають високий ступінь стехіометричності та фазової однорідності. Запропоновано та досліджено використання нестаціонарного (імпульсного) режиму електролізу, в результаті якого одержано рівномірні дрібнокристалічні гладкі покриття кадмію. (порошкоподібних, гладких і блискучих). Запропоновано принципову технологічну схему та визначено оптимальні технологічні режими процесу електрохімічного синтезу напівпровідникових полікристалічних плівок CdS, CdTe і системи CdS / CdTe.

  Скачати повний текст

Розроблено технологію виготовлення por - Si з характеристиками структури c - Si - por - Si, оптимальними для використання як польових емісійних катодів, також технологію виготовлення шарів por-Si без застосування зовнішнього джерела напруги, що дає змогу одержувати емісійні катоди з високою селективністю розмірів кремнієвих нанониток. Запропоновано фізичну модель даного ефекту, що співвідносить його з формуванням провідних наноканалів у діелектричній (напівпровідниковій) матриці, які є "внутрішніми" емісійними вістрями.

  Скачати повний текст

Досліджено вплив природи вихідної солі кадмію на властивості плівок, одержаних хімічним поверхневим осадженням. Експериментально встановлено лінійну залежність між товщиною плівки та часом хімічного поверхневого осадження, розкрито можливості її використання як засобу регулювання товщини плівок у процесі їх росту. Обгрунтовано можливість використання природного білка для визначення електрофізичних параметрів тонких напівпровідникових плівок. Уперше експериментально доведено принципову можливість реалізації нового матеріалу електроніки - полімерної плівки і вбудованими кластерами CdS та існування у них квантово-розмірних ефектів.

  Скачати повний текст

Вперше запропоновано тришарову структуру тонких плівок Mo, Ti, Cr, яка надає більш реальні фізичні результати у порівнянні з одношаровою. Зазначено, що верхні шари між плівкою та повітрям є відповідними оксидами Mo, Ti, Cr, а нижні шари між плівкою та підкладкою теж в основному є оксидами. Встановлено, що середній шар є відповідним металом Mo, Ti, Cr. Для середнього металічного шару тонких плівок Mo, Ti, Cr згідно теорії сталого матричного елемента обчислено електронні параметри, що характеризують міжзонні переходи в даних металах. Визначено довжину вільного пробігу електронів згідно теорії класичних розмірних ефектів у тонких плівках Mo, Ti, Cr на підставі даних про їх питомий електроопір.

  Скачати повний текст

Показано, що досягнення оптимальних оптоелектричних властивостей для плівок ZnO:In та ZnO:Al, одержаних реактивним магнетронним розпиленням за постійним струмом, відбувається завдяки різним фізичних механізмам, що взаємопов'язано з різними атомарними радіусами алюмінію та індію. Установлено, що за високочастотного нереактивного магнетронного розпилення у разі збільшення робочого тиску спостерігається нетрадиційна зміна фізичних закономірностей впливу товщини плівок ZnO:Al на значення концентрації основних носіїв заряду. Уточнено й обгрунтовано фізичні механізми впливу на оптоелектричні властивості даних плівок концентрації легувальної фази у складі мішені за нереактивного магнетронного розпилення магнетрона у разі високочастотного розпилення.

  Скачати повний текст

Проведено експериментальні та теоретичні дослідження фізичних процесів і тензорезистивних властивостей одно- та багатошарових плівок на основі Cu, Cr та Fe в області пружної та пластичної деформації. Вперше експериментально визначено тензорезистивні властивості плівок Cu/Cr та Fe/Cr як чутливих елементів високотемпературних тензодатчиків у діапазоні деформацій до 2 %, що включає область пружної, квазіпружної та пластичної деформації. Проведено порівняльний аналіз експериментальних результатів з розрахунковими на основі феноменологічних моделей і "правила важеля". Вперше проведено розрахунок параметрів електроперенесення для плівок Cu/Cr та Fe/Cr в області пружної та пластичної деформації. Встановлено особливості тензорезистивних властивостей для двошарових плівок Cu/Cr та Fe/Cr для великих кількостей деформаційних циклів (до 35-ти) та різних швидкостей деформації (від 0 до 0,1 %/с). Уточнено наукові уявлення про властивості плівкових систем, деформація яких відбувається у діапазоні пружної та пластичної деформації.

  Скачати повний текст

Представлено результати комплексного дослідження процесів фазово-структурних перетворень у плівках оксидів кремнію та їх впливу на оптичні, механічні й електрофізичні властивості зазначених плівок. Виявлено, що в результаті даних процесів відбувається локальне виділення в матриці фаз елементарного кремнію та діоксиду кремнію. у порівнянні з оксидами, одержаними за стандартною технологією. Обгрунтовано позитивний вплив даного факту на покращення електрофізичних характеристик МДН систем з оксидами, вирощеними на кремнії, попередньо очищеному водневою плазмою.

  Скачати повний текст

  Скачати повний текст

Розглянуто фізико-технологічні аспекти синтезу нанорозмірних плівок (НП) Ti-O-N і Cr-O-N методами іонно-променевого розпилення (ІПР) й іонно-стимульованого осадження, а також оптимізації процесів одержання нанорозмірних функціональних плівок і наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Запропоновано технологію синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів за допомогою ІПР з низькою щільністю іонного струму на мішені й осадження у контрольованому вакуумному середовищі. Розроблено мікропроцесорну систему синхронізації й керування процесом іонно-стимульованого синтезу НП та наноструктур. Досліджено НП Ti-O-N, одержані методом ІПР, та межі поділу плівка - підкладка методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Показано вплив температури підкладки під час іонно-променевого синтезу та температурного відпалу на хімічний стан і дифузійні властивості структур Ti-O-N/Si.

  Скачати повний текст

За допомогою сучасних методів фізичного матеріалознавства встановлено закономірності процесів дифузійного формування стабільних нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Ta, Ti, Pt на монокристалічному кремнії. З'ясовано, що формування силіцидних фаз в шарах нанометрових товщин відбувається в інших послідовностях, відмінних від передбачених діаграмами фазових рівноваг для масивних матеріалів, та в інших температурних інтервалах, ніж у шарах субмікронного діапазону товщин. Визначено основні чинники формування фізичних основ промислово-перспективних силіцидних нанотехнологій, якими є забезпечення контрольованості процесу одержання необхідної силіцидної фази та відтворюваності властивостей за допомогою введення між шаром металу та підкладкою (монокристалу кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійно-контролюючих мембран (ДКМ), які виконують різну регулюючу роль в розвитку процесів дифузійного фазоутворення. Показано можливість впливу даних зон на уповільнення та прискорення дифузійних процесів, зміну кінетики росту силіцидної плівки, стабілізацію необхідних за технологією силіцидних фаз, запобігання утворенню неоптимальних за властивостями метастабільних фаз та сприяння формуванню стабільних фаз.

  Скачати повний текст