Дисертацію присвячено питанням проектування і промислового виготовлення нового класу напівпровідникових ІС-формувачів потужних наносекундних імпульсів (ІС ФПНСІ) трапеціїдальної форми із роздільним формуванням фронту і спаду, довільно регульованим нахилом вершини імпульсу та на їх основі малогабаритних гібридно-інтегральних модулів (ГІМ) імпульсних модуляторів підвищеної потужності для генераторів сучасних бортових спеціалізованих РЕС міліметрового діапазону хвиль, що працюють в жорстких умовах експлуатації, а також можуть широко застосовуватися в інших галузях науки і техніки. Досліджено фізичні механізми функціонування, розроблені математичні та фізичні моделі і запропоновано наукову концепцію створення ІС ФПНСІ, які інтегрують нові конструкторсько-технологічні рішення високовольтних та швидкодіючих структур n-p-n транзисторів, МДН транзисторів з індукованим p-каналом, діодів з бар'єром Шотткі і висока ефективність якої обгрунтована теоретично і підтверджена практично. Вирішено проблему твердотільної інтеграції ГІМ імпульсних модуляторів. Досліджено влив конструктивно-технологічних та експлуатаційних чинників на ударну стійкість, структуру і фазовий склад товстоплівкових резисторів на основі серійних паст. Обгрунтовано їх застосування при виготовленні мікроплат потужних ГІМ імпульсних модуляторів струму. Розроблені і впроваджені нові конструкції, матеріали і технології виготовлення структур, активних і пасивних елементів мікросхем і мікрозборок ГІМ, способи вимірювання параметрів, які покращили фізико-технічні характеристики, підвищили вихід придатних і точність виготовлення, стабільністьзнизили критичні габаритно-вагові показники, забезпечили працездатність ГІМ імпульсних модуляторів в жорстких умовах дії підвищених кліматичних і механічних чинників. Пропоноуються нові програмно-методичні комплекси для забезпечення наскрізної автоматизації розробки і виготовлення КД ГІМ, зокрема механічних деталей та вузлів конструкцій модулів МЕА, які дозволили скоротити обсяг і терміни розробки КД.

  Скачати повний текст