Досліджено фізичні механізми формування структури за умови дискретного осаджування на підкладку пароплазмового потоку, сформованого імпульсним лазерним розпиленням одноелементних металевих і напівпровідникових мішеней, а також структурні та фазові перетворення у плівках у постконденсаційний період. Запропоновано моделі та встановлено умови утворення епітаксійних, полікристалічних і аморфізованих газонасичених конгломератних структур. Детально вивчено стадії росту й експериментально обгрунтовано модель поверхні епітаксіального лазерного конденсату, що визначає структурні перебудови під час подальшого відпалу або природного старіння. На підставі узагальнення всіх одержаних даних вперше виявлено і класифіковано основні типи структурних та фазових станів, характер нерівноважності та типи релаксаційних процесів, що протікають у постконденсаційний період у лазерних конденсатах ряду металів з різним ступенем хімічної активності.

  Скачати повний текст