Проведено експериментальні та теоретичні дослідження фізичних процесів і тензорезистивних властивостей одно- та багатошарових плівок на основі Cu, Cr та Fe в області пружної та пластичної деформації. Вперше експериментально визначено тензорезистивні властивості плівок Cu/Cr та Fe/Cr як чутливих елементів високотемпературних тензодатчиків у діапазоні деформацій до 2 %, що включає область пружної, квазіпружної та пластичної деформації. Проведено порівняльний аналіз експериментальних результатів з розрахунковими на основі феноменологічних моделей і "правила важеля". Вперше проведено розрахунок параметрів електроперенесення для плівок Cu/Cr та Fe/Cr в області пружної та пластичної деформації. Встановлено особливості тензорезистивних властивостей для двошарових плівок Cu/Cr та Fe/Cr для великих кількостей деформаційних циклів (до 35-ти) та різних швидкостей деформації (від 0 до 0,1 %/с). Уточнено наукові уявлення про властивості плівкових систем, деформація яких відбувається у діапазоні пружної та пластичної деформації.

  Скачати повний текст