1. |
Воронов Д.Л. Фазові перетворення в багатошарових плівкових системах Sc/Si i Sc/W/Si/W: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Д.Л. Воронов ; Харк. нац. ун-т ім. В.Н.Каразіна. — Х., 2002. — 18 с. — укp.Досліджено процеси силіцидоутворення, що мають місце у багатошарових періодичних покриттях Sc/Si і Sc/W/Si/W з періодом 20 - 35 нм в інтервалі температур 403 - 1243 К. Реакція аморфізації триває за дифузійною кінетикою, переважним дифузантом є кремній. Дифузія кремнію через шар аморфного скандій-кремнієвого сплаву характеризується низькими значеннями енергії активації (0,6 еВ) та передекспоненціального множника. Доведено, що дифузійні бар'єри з номінальною товщиною вольфраму більше ніж 0,6 нм якісно змінюють кінетику твердофазної аморфізації: після того, як процеси силіцидоутворення в бар'єрних шарах завершуються та їх товщина стабілізується, параболічний закон росту аморфного силіциду ScSi змінюється на лінійний. Скачати повний текст Індекс рубрикатора НБУВ: В379.251,022 + В379.226,022 + Шифр НБУВ: РА320407 Пошук видання у каталогах НБУВ
Рубрики:
|