Досліджена система містить у собі коліматор пучка, що складається з двох прямокутних діафрагм, а також фокусувальну систему на базі дублета магнітних квадрупольних лінз. Розроблено числовий код, який дозволяє розрахувати траєкторії іонів у системі та визначити внески в розмір пучка в площині мішені для таких аберацій, як хроматична, сферична, крайова та паразитна аберації, пов'язані з дефектами виготовлення та зборки лінз, юстирування системи лінз. Доведено, що домінуючими абераціями є паразитні аберації, пов'язані з неточностями установки полюсів у квадрупольній лізі; хроматична аберація й аберація, викликана обертальним роз'юстируваням з дублета. Розміри діафрагм оптимізувалися для одержання максимального струму пучка з заданим розміром намішені. Параметри пучка ядерного мікрозонда дозволяють реалізувати різні ядерно-фізичні методи аналізу (резерфордівське зворотне розсіювання, рентгеноспектральний аналіз із протонним збудженням, гамма-спектральний аналіз на протонному пучку). Виміряно концентраційні профілі основних і домішкових елементів на глибині до 1500 мкм. У покриттях з фторидного вольфраму на межі покриття - підкладка виявлено збільшення концентрації фтору в 10 разів, на відміну від об'ємної концентрації. Досліджено дифузію Cr з покриття до підкладки з пористого графіту.

  Скачати повний текст