З використанням методів X-променевої дифрактометрії та внутрішнього тертя досліджено вплив високоенергетичного електронного та гамма-опромінення на ступінь структурних змін кремнію в процесі природного старіння. Установлено, що рівень напруг, що виникають під час розпаду перенасиченого твердого розчину кисню, значно перевищують напруги у процесі механічної обробки матеріалу. Ефективне покращання структурної досконалості монокристалів кремнію спостерігається тільки для опромінених електронами кристалів дозами 1,8 і 3,6 кГрей після 3000 год. Зазначено, що опромінення високоенергетичними електронами та гамма-квантами (E ~ 18 МеВ) призводить до утворення в структурі кристалічної гратки кремнію дислокаційних петель. Визначено, що розмір дефектів, які утворилися після опромінення електронами, нелінійно залежить від дози опромінення. Установлено, що природне старіння опромінених електронами кремнію, поряд з утворенням вторинних радіаційних дефектів, призводить до укрупнення власних мікродефектів.

  Скачати повний текст