Вивчено закономірності структуроутворення шарів металів за квазірівноважних стаціонарних умов на прикладі Cu та Al залежно від таких основних технологічних параметрів процесу конденсації, як час, тиск робочого газу та потужність розряду. Досліджено вплив структурної та польової селективностей на структуру та фізичні властивості конденсатів. Проаналізовано фізичні процеси за роботи нагромаджувальних іонно-плазмових систем та їх вплив на структуроутворення. Розроблено математичну модель, яка описує самоорганізацію квазірівноважних умов конденсації. З використанням квазірівноважної конденсації вивчено механізм структуроутворення надпоруватих мікро- та наносистем Al і Cu залежно від впливу польової та структурної селективностей.

  Скачати повний текст