У дисертаційній роботі досліджено структурні, оптичні та люмінесцентні властивості чистих та активованих тривалентними іонами рідкісноземельного металу Eu3+ тонких плівок Y2O3. З’ясовано та продемонстровано вплив методів та умов одержання на формування структури тонких плівок Y2O3 та Y2O3:Eu, на оптичні характеристики, особливості екситон-фононної взаємодії в цих плівках і використання спектральних та кінетичних характеристик катодолюмінесценції тонких плівок Y2O3:Eu для аналізу їх структурної досконалості. Це реалізовано виконанням головних завдань дисертаційної роботи: одержано різними методами тонких плівок Y2O3, Sc2O3, Y2O3:Eu, Gd2O3:Eu; досліджено кристалічні структури та морфології поверхні отриманих тонких плівок; досліджено оптичні властивості даних тонких плівок в області краю фундаментального поглинання в широкому температурному діапазоні; використано теоретичну модель сильно легованого або дефектного напівпровідника у квазикласичному наближенні для аналізу екситон-фононної взаємодії та енергетичних параметрів отриманих тонких плівок; досліджено взаємозв’язок енергії та густини електронного струму збудження із спектральними та кінетичними характеристиками катодолюмінесценції тонких плівок Y2O3:Eu.^UThe structural, optical, and luminescent properties of pure and trivalent ions-activated Y2O3 thin films of the rare earth metal Eu3+ have been investigated in this thesis. The influence of the methods and conditions of preparation on the formation of the structure of Y2O3 and Y2O3:Eu thin films, on the optical characteristics, features of exciton-phonon interaction in these films, and the use of spectral and kinetic characteristics of cathodoluminescence of Y2O3:Eu thin films to analyze their structural perfection were found and demonstrated. This was achieved by fulfilling the main tasks of the dissertation: thin films of Y2O3, Sc2O3, Y2O3:Eu, and Gd2O3:Eu were prepared by various methods; crystalline structures of Y2O3:Eu; investigated the crystal structures and surface morphologies of the obtained thin films; studied the optical properties of these thin films in the region of the fundamental absorption edge in a wide temperature range; used a theoretical model of a heavily doped or defective semiconductor in the quasi-classical approximation to analyze the exciton-phonon interaction and energy parameters of the obtained thin films; investigated the relationship between the energy and density of the excitation electron current and the spectral and kinetic characteristics of the cathode.