Дисертацію присвячено питанням використання аморфних гідрогенізованих вуглецевих плівок в якості просвітлюючих та захисних покриттів оптичних деталей УФ-вид. оптоелектроніки та ІЧ-оптики. В дисертації розроблено новий спосіб поліпшення експлуатаційних характеристик багатошарових просвітлюючих покриттів на основі фторидів барію та ітрію шляхом включення до їх складу а-С:Н плівок. На основі проведених досліджень методами КРС та ІЧ спектроскопії та Оже-спектрального аналізу вивчено залежність структурних характеристик алмазоподібних вуглецевих плівок від технологічних умов осадження. Отримані результати використано при дослідженні оптичних, оптоелектронних та діелектричних властивостей цих плівок. Вказано шляхи оптимізації оптичних характеристик а-С:Н плівок згідно конструктивних вимог до захисних просвітлюючих покриттів робочих поверхонь оптичних елементів при промисловому використанні.

  Скачати повний текст