Обгрунтовано вибір оптимальних розмірів напіпровідникового струнного резонатора (НСР), що є базовим елементом напівпровідникових резонансних сенсорів. Визначено, що за цих розмірів він найменше піддається впливу дестабілізувальних факторів. За методом факторного експерименту створено математичні моделі даного впливу на резонансну частоту такого резонатора. Створено математичну модель автогенератора з напівпровідниковим резонансним сенсором, за допомогою якої вибрано електронну схему, що найкраще забезпечує його роботу у робочому діапазоні частот. З використанням математичних моделей впливу дестабілізувальних факторів на частоту резонатора проаналізовано похибки термостатованого автогенератора. З метою зменшення зазначеного впливу запропоновано спосіб стабілізації частоти струмом кристала та оптико-електронний спосіб зчитування частоти резонатора. Показано, що за умов застосування цього способу потужність сигналу більша від потужності сигналу, що виникає у разі тензорезистивного способу на 40 дБ. Запропоновано принцип побудови термоелектричного перетворювача на базі НСР для вимірювання ефективного значення струму та напруги.

  Скачати повний текст