Досліджено процеси одержання великогабаритних кристалів кремнію методом лиття та розробки технологій, спрямованих на підвищення їх якості. Описано спосіб одержання кремнієвих виливків заливанням розплаву у відкриті ливарні графітові форми з використанням верхнього теплопідведення і подальшою спрямованою кристалізацією. Показано, що дана кристалізація у розбірних графітових формах здійснюється у кремнієвому гарнісажі. Розроблено конструкцію плоских нагрівачів, ливарних форм і теплового вузла для проведення спрямованої кристалізації великогабаритних виробів, що забезпечують мінімальні температурні градієнти. Розроблено методики визначення вмісту водню в кремнії та питомої швидкості дегазації розплаву кремнію. Визначено особливості розподілу газових раковин у виробах різної конфігурації. Встановлено, що раковини у литих кремнієвих виробах утворюються на межі стику шарів, що кристалізуються, порушуються умови виводу газу з їх об'єму. Розроблено промислову технологію одержання великогабаритних кремнієвих заготовок суцільної та полегшеної конструкції діаметром до 1 000 мм.

  Скачати повний текст