На підставі дослідження сучасного стану проектування мікроактюаторів у вбудованих системах визначено основні напрямки й особливості їх використання у процесі розробки новітніх мікротехнологій. Удосконалено існуючі математичні моделі електростатичних мікрорезонаторів з метою підвищення ефективності процесу проектування та покращання вихідних характеристик вбудованих систем. На підставі розроблених та удосконалених моделей проведено дослідження електричних і механічних властивостей мікрорезонаторів, розраховано та проаналізовано кореляційні зв'язки між їх конструктивними й електричними параметрами. Для кожної представленої моделі мікрорезонатора електростатичного типу створено відповідну VHDL-AMS модель, яка дозволяє одночасно проводити функціональне та поведінкове моделювання. Сформовано бібліотеку моделей, яку успішно інтегровано в уже існуючі системи мультидисциплінарного моделювання, такі як ANSYS, CADENCE, що дозволяє спростити процес проектування вбудованих систем.

  Скачати повний текст