Розглянуто фізико-технологічні аспекти синтезу нанорозмірних плівок (НП) Ti-O-N і Cr-O-N методами іонно-променевого розпилення (ІПР) й іонно-стимульованого осадження, а також оптимізації процесів одержання нанорозмірних функціональних плівок і наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Запропоновано технологію синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів за допомогою ІПР з низькою щільністю іонного струму на мішені й осадження у контрольованому вакуумному середовищі. Розроблено мікропроцесорну систему синхронізації й керування процесом іонно-стимульованого синтезу НП та наноструктур. Досліджено НП Ti-O-N, одержані методом ІПР, та межі поділу плівка - підкладка методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії. Показано вплив температури підкладки під час іонно-променевого синтезу та температурного відпалу на хімічний стан і дифузійні властивості структур Ti-O-N/Si.

  Скачати повний текст