Досліджено процеси у неоднорідних металодіелектричних мікроструктурах (ІМС), розташованих у кристалі інтегральних мікросхем, у разі впливу імпульсних полів. Під час побудови математичної моделі та виявлення механізму впливу імпульсних електромагнітних полів на мікроструктуру використано радіофізичний підхід до задачі впливу зазначених полів на інтегральні мікросхеми. Розглянуто процеси взаємодії мікроструктурних елементів (МСЕ) з падаючою електромагнітною хвилею. Експериментальні дослідження дозволили виявити функціонально значущі МСЕ за умов впливу даних полів на ІМС у хвилеводі. Встановлено вплив поляризаційного фактора на характер розвитку деградаційних процесів у тонких металевих плівках. Розроблено числову дифракційну модель розсіяння падаючої електромагнітної хвилі на ІМС. Одержано розподілення електромагнітних полів поблизу ІМС. Виявлено причини, характер та динаміку розвитку локальних деградаційних процесів у металевих плівках під час впливу імпульсних електромагнітних полів.

  Скачати повний текст