Бази даних

Автореферати дисертацій - результати пошуку

Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"

Вид пошуку
Формат представлення знайдених документів:
повнийстислий
Пошуковий запит: (<.>A=Ткаченко М.О.$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

      
1.

Ткаченко М.О. 
Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією: Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / М.О. Ткаченко ; Кременчуц. ун-т економіки, інформ. технологій і упр. — Кременчук, 2005. — 20 с.: рис. — укp.

З'ясовано значення параметрів шліфувальних кругів, що забезпечують мінімальну глибину порушеного шару. Розроблено метод визначення числа проходів шліфування з урахуванням виміряної товщини структури, необхідної глибини шліфування кожним кругом і накладених на сумарну глибину шліфування обмежень.

  Скачати повний текст


Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-077 +
Шифр НБУВ: РА340629

Рубрики:
 

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського