1. |
Ткаченко М.О. Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією: Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / М.О. Ткаченко ; Кременчуц. ун-т економіки, інформ. технологій і упр. — Кременчук, 2005. — 20 с.: рис. — укp.З'ясовано значення параметрів шліфувальних кругів, що забезпечують мінімальну глибину порушеного шару. Розроблено метод визначення числа проходів шліфування з урахуванням виміряної товщини структури, необхідної глибини шліфування кожним кругом і накладених на сумарну глибину шліфування обмежень. Скачати повний текст
Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-077 + Шифр НБУВ: РА340629
Рубрики:
|