Шляхом моделювання процесу іонної імплантації визначено основні типи дефектів, утворених за умов імплантації іонів фтору в ферит-гранатові плівки (ФГП). Установлено залежність величини деформації іонно-імплантованого шару від дози імплантації іонами фтору. Установлено залежності кристалічної структури та магнітної мікроструктури імплантованих ФГП від геометрії лазерного опромінення. Виявлено, що у разі лазерного опромінення ФГП відбувається зменшення максимального значення деформації та її градієнта зі сторони поверхні внаслідок лазерно стимульованої дифузії дефектів до поверхні.

  Скачати повний текст